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[ 반도체 부문]

반도체 부문 대상을 수상한 (주)지앤아이 임창수 대표이사는 반도체 설비에서 발생하는 진동제어를 위해 스마트 방진패드와 방진 바퀴를 개발했다. 반도체 생산설비 및 부대설비의 진동방지를 위한 부재들은 통상 고무나 고무와 스프링 등을 혼합한 마운트, 패드 등의 형태로 바닥면에 고정을 하게 된다. 그러나 고무나 마운트 등의 부재들은 진동 제어 기능이 미비해 설비 발생 진동 및 크린룸 공진에 의해 설비 에러 및 가동률 저하, 공정불량 등의 문제점을 유발한다. 또한 설비 하부에 진동을 차단하는 진동방지 구조를 설치하더라도 설비에 장착된 바퀴에 의해 설비에서 발생한 진동이 바닥면으로 그대로 전이되어 크린룸 공진이 발생하게 된다. 지앤아이에서 개발한 스마트 방진패드와 방진 바퀴는 반도체 설비의 진동제어로 설비 에러 및 가동률 저하, 공정불량 등의 문제를 해결한다. 

그렇다면 스마트 방진패드와 방진 바퀴는 어떠한 기능으로 진동을 제어할까? 

먼저, 스마트 방진 패드(특허 제10-1778053호)는 반도체 설비 하면에 장착된 바퀴나 다리와 같은 부착물을 제거하지 않고 그대로 설비에 설치할 수 있는 방진 장치로, 베이스 프레임에 바퀴나 다리와 같은 돌출 부착물이 삽입될 수 있는 홀을 구비해 방진 패드가 장착되며, 베이스 프레임 하면에는 다수 개소의 방진 어셈블리를 장착하여 3축방향의 진동 및 충격을 동시에 저감할 수 있도록 했다. 

방진 바퀴(특허출원 제10-2022-0134880호)는 설비와 바퀴가 접촉하는 부위인 바퀴 상부 플레이트에 방진패드를 부착하여 설비에서 바퀴로 전이되는 진동을 1차 차단한다. 설비에 바퀴를 고정하기 위해 볼트가 사용되는데, 바퀴 볼트 삽입되는 잔공부에 방진와셔를 장착해 방진와셔가 고정볼트를 감싸도록 형성함으로써 고정볼트를 통해 전이되는 진동을 원천 차단했다. 

스마트 방진패드와 방진 바퀴는 ▲반도체 설비 진동제어 ▲떨림에 의한 설비 가동율 저가 개선 ▲볼트 및 클램프 풀림에 의한 안전사고 방지 등 진동제어뿐 아니라 안전사고 방지 등 활용성이 높다. 

지난 2014년 설립한 (주)지앤아이의 주요 사업은 ▲크린룸 진동 제어 시스템 ▲크린룸 테크놀로지(크린룸 기획/셋업, 안전관리) ▲진동제어 엔지니어링(진동 계측기 및 진동제어 스마트 패드, 진동제어 브라켓) ▲생산설비 진단 개선(환경 및 오염 진단 개선, 수질 및 배기 시설 진단 개선) 등 반도체 설비 관련이다. 

지앤아이 임창수 대표는 95년부터 삼성전자에서 20년간 근무하며 반도체 관련 소부장(소재·부품·장비)을 국산화하는 업무를 해온 반도체 전문가로 현재 지앤아이는 지식재산권 26건을 보유하고 있고, LAM Research 및 AMAT과 업무 협약은 물론 삼성전자 등록 업체로 성장하고 있다.